فیزیک

فرآیندهای پلاسما برای ساخت نیمه هادی ها

Plasma processes for semiconductor fabrication

دانلود کتاب Plasma processes for semiconductor fabrication (به فارسی: فرآیندهای پلاسما برای ساخت نیمه هادی ها) نوشته شده توسط «W. N. G. Hitchon»

اطلاعات کتاب فرآیندهای پلاسما برای ساخت نیمه هادی ها

موضوع اصلی: فیزیک

نوع: کتاب الکترونیکی

ناشر: CUP

نویسنده: W. N. G. Hitchon

زبان: English

فرمت کتاب: djvu (قابل تبدیل به سایر فرمت ها)

سال انتشار: 1999

تعداد صفحه: 231

حجم کتاب: 3 مگابایت

کد کتاب: 9780521591751 , 0521591759

توضیحات کتاب فرآیندهای پلاسما برای ساخت نیمه هادی ها

پردازش پلاسما یک تکنیک مرکزی در ساخت دستگاه های نیمه هادی است. این کتاب خود شامل شرح به روزی از اچ پلاسما و رسوب در ساخت نیمه هادی است. فیزیک و شیمی اولیه این فرآیندها را ارائه می‌کند و نشان می‌دهد که چگونه می‌توان آنها را به دقت مدل‌سازی کرد. نویسنده با مروری بر راکتورهای پلاسما شروع می کند و مدل های مختلف برای درک فرآیندهای پلاسما را مورد بحث قرار می دهد. سپس شیمی پلاسما را پوشش می‌دهد و به تأثیرات مواد شیمیایی مختلف بر روی ویژگی‌های حک‌شده می‌پردازد. او پس از ارائه مطالب پس‌زمینه مربوطه، مدل‌سازی سیستم‌های پلاسمایی پیچیده را با اشاره به نتایج تجربی به تفصیل شرح می‌دهد. کتاب با واژه نامه مفیدی از اصطلاحات فنی پایان می یابد. هیچ دانش قبلی از فیزیک پلاسما در کتاب فرض نشده است. این شامل بسیاری از تمرینات مشق شب است و به عنوان مقدمه ای ایده آل برای پردازش پلاسما و فناوری برای دانشجویان فارغ التحصیل رشته مهندسی برق و علم مواد عمل می کند. همچنین مرجع مفیدی برای مهندسان شاغل در صنعت نیمه هادی خواهد بود.

Plasma processing is a central technique in the fabrication of semiconductor devices. This self-contained book provides an up-to-date description of plasma etching and deposition in semiconductor fabrication. It presents the basic physics and chemistry of these processes, and shows how they can be accurately modeled. The author begins with an overview of plasma reactors and discusses the various models for understanding plasma processes. He then covers plasma chemistry, addressing the effects of different chemicals on the features being etched. Having presented the relevant background material, he then describes in detail the modeling of complex plasma systems, with reference to experimental results. The book closes with a useful glossary of technical terms. No prior knowledge of plasma physics is assumed in the book. It contains many homework exercises and serves as an ideal introduction to plasma processing and technology for graduate students of electrical engineering and materials science. It will also be a useful reference for practicing engineers in the semiconductor industry.

دانلود کتاب «فرآیندهای پلاسما برای ساخت نیمه هادی ها»

مبلغی که بابت خرید کتاب می‌پردازیم به مراتب پایین‌تر از هزینه‌هایی است که در آینده بابت نخواندن آن خواهیم پرداخت.

برای دریافت کد تخفیف ۲۰ درصدی این کتاب، ابتدا صفحه اینستاگرام کازرون آنلاین (@kazerun.online ) را دنبال کنید. سپس، کلمه «بلیان» را در دایرکت ارسال کنید تا کد تخفیف به شما ارسال شود.

برچسب ها
مبلغی که بابت خرید کتاب می‌پردازیم به مراتب پایین‌تر از هزینه‌هایی است که در آینده بابت نخواندن آن خواهیم پرداخت.
کتابخانه دیجیتال بَلیان