Werkstückbegleitender Informationsspeicher als Basis für ein informationstechnisches Konzept für Halbleiterfertigungen

Die rasche Weiterentwicklung der Mikroelektronik erfordert aus wirtschaftlichen und technologischen Gründen eine Optimierung der Chipherstellung unter fertigungstechnischen Gesichtspunkten. Neben einer Erhöhung des Automatisierungsgrades ist es besonders erforderlich, das durch die manuellen Eingriffe und den Laborcharakter bedingte Fehlerpotential in der Fertigung zu senken sowie die Ausfallsicherheit der Fertigung zu erhöhen. Mit Blick darauf werden die spezifischen Merkmale der Halbleiterfertigung analysiert und daraus die Anforderungen an ein darauf abgestimmtes informationstechnisches Konzept abgeleitet. Dabei zeigt sich, daß Bediener, Leittechnik, Fertigungsgerät und Fördergut berücksichtigt werden müssen. Nach einer Strukturierung von Fertigungsdaten sowie einer Definition von Funktionsebenen und Organisationseinheiten wird ein Spektrum von Lösungen für die integrierte, automatisierte Betriebsdatenerfassung, Prozeßdatenvorgabe und Fördergutidentifikation erarbeitet und bewertet. Für die ausgewählte Lösung wird eine Konzeption mit einem Prototyp entwickelt. Anhand von Erfahrungen aus einer Pilotimplementierung werden die Einsatzmöglichkeiten und -grenzen des Informationssystems aufgezeigt. Front Matter....Pages 1-12 Abkürzungen und Formelzeichen....Pages 13-15 Einleitung....Pages 16-18 Stand der Technik....Pages 19-24 Analyse von Schwachstellen der Chipfertigung....Pages 25-34 Ableitung der Entwicklungsschwerpunkte....Pages 35-38 Entwicklung und Bewertung von Lösungsalternativen....Pages 39-64 Konzeption des werkstückbegleitenden Informationssystems....Pages 65-88 Realisierung des werkstückbegleitenden Informationssystems....Pages 89-102 Zusammenfassung und Ausblick....Pages 103-105 Literaturverzeichnis....Pages 106-115 Back Matter....Pages 117-117