Высокоразрешающая рентгеновская дифрактометрия и топография: High resolution x-ray diffractometry and topography

Введение. Исследование кристаллического совершенства дифракционными методами......Page 3 Взаимодействие кристалла с плоской волной......Page 4 Сравнение различных излучений, используемых для дифракции......Page 7 Сравнение аналитических методов исследования поверхности......Page 8 Высокоразрешающая рентгеновская дифрактометрия......Page 9 Трехосевая дифрактометрия......Page 11 Рентгеновская топография в излучении обычных источников......Page 12 Топография в синхротронном излучении......Page 13 Литература......Page 14 Ограничения одноосевой дифракции......Page 15 Лабораторные источники рентгеновского излучения......Page 16 Источники синхротронного излучения......Page 17 Системы высокого разрешения......Page 19 Диаграммы дю Монда......Page 20 Бездисперсионная схема......Page 26 Конструкция коллиматора с прорезным каналом......Page 29 Асимметричный коллиматор с прорезным каналом и коллиматор дю Монда......Page 31 Рентгеновские зеркала......Page 34 Инструментальные искажения в высокоразрешающей дифрактометрии......Page 35 Наклон брэгговской плоскости......Page 36 Наклон образца относительно оси, параллельной плоскости падения и брэгговской плоскости......Page 38 Вращение образца вокруг нормали к поверхности......Page 39 Кривизна и мозаичная структура образца......Page 40 Дисперсия......Page 41 Пропорциональные счетчики......Page 43 Сцинтилляционные счетчики......Page 44 Поправка на «мертвое время»......Page 45 Проведение эксперимента высокого разрешения......Page 46 Настройка образца и поиск отражения......Page 47 Измерение кривой качания......Page 48 Литература......Page 49 Введение......Page 50 Плосковолновая дифракция от гетероэпитаксиальных слоев......Page 51 Выбор условий эксперимента......Page 52 Несоответствие параметров решетки......Page 55 Состав твердого раствора......Page 56 Разориентация слоя......Page 57 Плотность дислокаций......Page 58 Кривизна и мозаичность......Page 59 Релаксация......Page 61 Толщина......Page 65 Ограничения и проблемы......Page 68 Литература......Page 69 Введение......Page 70 Структурный фактор......Page 71 Интенсивность рентгеновских отражений......Page 73 Интенсивность отражения от тонкого кристалла......Page 74 Аномальная дисперсия......Page 77 Геометрия обратного пространства......Page 79 Динамическая теория......Page 84 Фундаментальные уравнения......Page 85 Дисперсионное пространство и геометрия дифракции......Page 88 Граничные условия......Page 91 Поглощение......Page 94 Сферические волны......Page 96 Рассеяние в несовершенных кристаллах......Page 97 Мозаичная структура......Page 98 Формулы для определения ширины, формы и интенсивности кривых качания......Page 99 Формулы для случая Брэгга......Page 102 Формулы для случая Лауэ......Page 103 Литература......Page 105 Введение......Page 107 Обобщенная дифракционная теория Такаги—Топэна......Page 108 Решения для тонкого слоя и подложки......Page 109 Вычисление деформации и несоответствия......Page 111 Вычисление отражающей способности......Page 112 Приближения и ограничения......Page 113 Эффект коллиматора пучка......Page 115 Влияние шума детектора......Page 116 Эффект кривизны образца......Page 117 Ограничения подхода, основанного на моделировании......Page 118 Стратегия моделирования......Page 119 Пример моделирования: определение параметров материала......Page 120 Пример 1. Однослойная структура......Page 122 Пример 2. Транзистор с высокой подвижностью электронов (НЕМТ-структура)......Page 124 Литература......Page 128 Обзор кривых качания от толстых слоев......Page 130 Тонкий единичный слой......Page 132 Толстые слои с градиентом состава......Page 134 Интерферометры в геометрии Брэгга......Page 136 Сверхрешетки......Page 138 Общие характеристики сверхрешеток с большим числом периодов......Page 141 Периодичность......Page 143 Дисперсия толщины или периода......Page 144 Шероховатость интерфейса и градиент состава......Page 146 Моделирование структур со сверхрешетками......Page 147 Литература......Page 150 Введение......Page 151 Коллиматор пучка......Page 152 Анализатор и детектор......Page 153 Настройка трехосевого эксперимента......Page 154 Разделение разориентаций и деформаций решетки......Page 155 Измерение кинематического рассеяния от нарушенной поверхности......Page 156 Измерение дефектных образцов......Page 157 Построение полных карт рассеяния в обратном пространстве......Page 160 Применения карт рассеяния в обратном пространстве......Page 165 Литература......Page 173 Введение......Page 174 Механизмы контраста......Page 175 Метод Берга—Баретта......Page 176 Секционная топография......Page 178 Проекционная топография......Page 179 Выведение дифракционного вектора в горизонтальную плоскость......Page 180 Нахождение брэгговского отражения......Page 181 Фотографическое разрешение......Page 182 Разрешение в топографии реального времени......Page 184 Оптимальный контраст и скорость......Page 186 Кристаллы, кажущиеся совершенными......Page 187 Кристаллы, содержащие субзерна и дислокации......Page 192 Слабые искажения......Page 193 Сильные нарушения......Page 198 Изображения дислокаций......Page 201 Контраст дефектов упаковки на секционных топограммах......Page 208 Заключение......Page 211 Литература......Page 212 Принципы и экспериментальные схемы......Page 213 Контраст дефектов на двухкристальных топограммах......Page 216 Пространственное разрешение......Page 219 Входной контроль пластин......Page 221 Получение изображений контуров деформации......Page 223 Топография с применением изогнутого кристалла-коллиматора......Page 224 Литература......Page 226 Источники синхротронного излучения......Page 228 Требования к источнику для рентгеновской топографии в синхротронном излучении......Page 232 Интенсивность......Page 236 Коллимация......Page 237 Топография в белом излучении......Page 238 Примеры применения топографии в белом излучении......Page 243 Стробоскопические исследования......Page 250 Многокристальная топография......Page 251 Примеры применения синхротронного излучения в двухкристальной топографии......Page 253 Трехосевая топография......Page 257 Литература......Page 258