Вакуумное ионно-плазменное оборудование для получения наноструктурных материалов

ВАКУУМНОЕ ИОННО-ПЛАЗМЕННОЕ ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ НАНОСТРУКТУРНЫХ МАТЕРИАЛОВ Лабораторный практикум......Page 1 ВВЕДЕНИЕ......Page 3 ЛАБОРАТОРНАЯ РАБОТА 1 «ИЗМЕРЕНИЕ ДАВЛЕНИЯ В ВАКУУМНОЙ СИСТЕМЕ ПРИ ПОМОЩИ ИЗМЕРИТЕЛЬНЫХ ЛАМП (ТЕРМОПАРНОЙ И ИОНИЗАЦИОННОЙ) И ПРИБОРА ВИТ 2»......Page 4 ЛАБОРАТОРНАЯ РАБОТА 2 «РАБОТА ФОРВАКУУМНОГО ПЛАСТИНЧАТО–РОТОРНОГО НАСОСА 2НВР-5ДМ».......Page 9 ЛАБОРАТОРНАЯ РАБОТА 3 «РАБОТА ДИФФУЗИОННОГО НАСОСА Н-250/2500»......Page 13 ЛАБОРАТОРНАЯ РАБОТА 4 «УСТРОЙСТВО И ПОРЯДОК РАБОТЫ НА УСТАНОВКЕ ННВ6,6-И1»......Page 16 ЛАБОРАТОРНАЯ РАБОТА 5 «ТИПОВОЙ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ПРОЦЕСС ВАКУУМНОГО ИОННО-ПЛАЗМЕННОГО НАПЫЛЕНИЯ»......Page 21 БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК......Page 28