Vakuumbeschichtung: Band 2: Verfahren Und Anlagen (vdi-buch) (german Edition)

Schwerpunkte in Band 2 bilden das Aufdampfen im Hochvakuum, das Ionenplattieren, die Kathodenzerstäubung, teilchengestützte Verfahren, die Erzeugung von Mikrostrukturen, Plasmabehandlungsverfahren und die Abscheidung aus der Gasphase (CVD). Front Matter....Pages I-XIII Vakuumbeschichtungsverfahren — Übersicht....Pages 1-6 Bedeutung der Vakuumtechnik für die Beschichtungstechnik....Pages 7-19 Aufdampfen im Hochvakuum....Pages 20-106 Ionenplattieren....Pages 107-126 Ionenzerstäubung von Festkörpern (Sputtering)....Pages 127-192 Teilchenstrahlgestützte Verfahren....Pages 193-260 Erzeugung von Mikrostrukturen an Oberflächen und dünnen Schichten....Pages 261-320 Plasmabehandlungsmethoden....Pages 321-352 Plasmaspritzen....Pages 353-375 Abscheidung aus der Gasphase....Pages 376-443 Back Matter....Pages 444-482 Dünne Schichten dienen zum Veredeln von Festkörpern.