Учебное пособие по дисциплине "Зондовые методы создания структур наноэлектроники"

Учебное пособие по дисциплине «Зондовые методы создания структур наноэлектроники». — М.: МИЭТ, 2011. — 164 с. — ISBN 978-5-7256-0650-8 Представлены физические основы зондовой нанотехнологии на базе сканирующих туннельных и атомно-силовых микроскопов. Разработано для основной образовательной программы подготовки бакалавров по направлению 210100 «Электроника и наноэлектроника», соответствующей тематическому направлению деятельности ННС «Наноэлектроника». Для студентов технических университетов, проходящих подготовку по специальности 073800 «Наноматериалы», 658300 «Нанотехнология» и 202000 «Нанотехнология в электронике», изучающих курс «Зондовые методы создания структур наноэлектроники» на уровне бакалавров. Содержание Введение Литература Зондовая микроскопия и ее возможные применения Сканирующие зондовые микроскопы Зондовая микроскопия углеродных нанотрубок Атомная структура поверхности углеродных нанотрубок Исследование углеродных нанотрубок: размеры, формы, тонкая структура Перспективы зондовой нанотехнологии Литература Теоретическое и экспериментальное исследование процессов формирования наноразмерных структур с помощью проводящего зонда Физические эффекты в зондовой нанотехнологии Контактное формирование нанорельефа поверхности подложек Бесконтактное формирование нанорельефа поверхности подложек Локальная «глубинная» модификация поверхности полупроводниковых подложек Локальная электродинамическая модификация поверхности подложек Межэлектродный массоперенос с нанометровым разрешением Модификация свойств среды в зазоре между проводящим зондом и подложкой Электрохимический массоперенос Массоперенос с помощью газовой среды Локальное анодное окисление Литература Зондовые нанотехнологии создания элементной базы наноэлектроники Зондовое формирование полимерных микропроводников Методы формирования металлических квазиодномерных микропроводников на подложках Создание элементов металлической наноэлектроники Нанотранзисторы и инверторы на основе углеродных нанотрубок Метод приготовления проводников на основе пучка углеродных нанотрубок Зондовые методы модификации углеродных нанотрубок на подложках Исследование характеристик макетов нанотранзистора и инверторов на основе углеродных нанотрубок Углеродная наноэлектроника Локальное анодное окисление пиролитического графита Литература Заключение