Учебное пособие по дисциплине Оптические методы исследования в материаловедении

Екатеринбург: Уральский государственный университет им. А. М. Горького, ИОНЦ "Нанотехнологии и перспективные материалы" [Электронный ресурс], 2008. — 125 с. Оптические методы широко используются в исследованиях различных свойств материалов, поскольку от этих свойств могут зависеть характеристики фиксируемого излучения. Преимущества оптических методов состоят в возможности получать информацию об объекте, не прибегая к физическому контакту с ним, как правило, оптические методы позволяют наблюдать за протеканием процессов в материале в режиме реального времени. Использование оптического метода подразумевает: во-первых, установление связи между параметрами излучения и свойствами материала; во-вторых, использование оптических устройств для измерения параметров излучения; в-третьих, восстановление свойств материала по параметрам излучения от него. Введение Электромагнитные волны. Способы описания Свойства электромагнитных волн Энергия плоской волны Поляризация Параметры Стокса Методы измерения поляризации волны Эллипсометрия Основные соотношения, используемые в эллипсометрии Вывод основных соотношений между параметрами эллипсометрии и оптическими свойствами пленки на подложке Пример расчета зависимостей параметров эллипсометрии от величины комплексного показателя преломления пленки на подложке Инструменты эллипсометрии Модели эллипсометриии Планарные матмодели ОИ в традиционной эллипсометрии Свойства решений ОУЭ для простой оптической модели ОИ Развитие нетрадиционных методов прикладной эллипсометрии НПВО - эллипсометрия Спекл Uфэу - эллипсометрия Трансформация инвариантов Френеля-Брюстера для модели однородного слоя Эллипсометрия скрытых азимутальных девиаций Релаксационная Uфэу – эллипсометрия Компьютерное моделирование свойств решений прямой задачи эллипсометрии для однородного слоя Типовые решения прямой задачи ОУЭ для однородного слоя Контрольные примеры решений ОУЭ для однослойной модели Свойства решений обратной задачи эллипсометрии для слоя Обратная оптическая задача Сверхразрешение в фазовых изображениях Модель фазового объекта Сингулярности и критерий разрешения в фазовых изображениях Сингулярности и сверхразрешение в фазовых изображениях Заключение по теме «Сверхразрешение» Список литературы Екатеринбург: Уральский государственный университет им. А. М. Горького, ИОНЦ "Нанотехнологии и перспективные материалы" [Электронный ресурс], 2008. — 125 с.Оптические методы широко используются в исследованиях различных свойств материалов, поскольку от этих свойств могут зависеть характеристики фиксируемого излучения. Преимущества оптических методов состоят в возможности получать информацию об объекте, не прибегая к физическому контакту с ним, как правило, оптические методы позволяют наблюдать за протеканием процессов в материале в режиме реального времени. Использование оптического метода подразумевает: во-первых, установление связи между параметрами излучения и свойствами материала; во-вторых, использование оптических устройств для измерения параметров излучения; в-третьих, восстановление свойств материала по параметрам излучения от него. ВведениеЭлектромагнитные волны. Способы описания__Свойства электромагнитных волнЭнергия плоской волныПоляризацияПараметры СтоксаМетоды измерения поляризации волны__Эллипсометрия__Основные соотношения, используемые в эллипсометрииВывод основных соотношений между параметрами эллипсометрии и оптическими свойствами пленки на подложкеПример расчета зависимостей параметров эллипсометрии от величины комплексного показателя преломления пленки на подложкеИнструменты эллипсометрииМодели эллипсометриииПланарные матмодели ОИ в традиционной эллипсометрииСвойства решений ОУЭ для простой оптической модели ОИРазвитие нетрадиционных методов прикладной эллипсометрииНПВО - эллипсометрияСпекл Uфэу - эллипсометрияТрансформация инвариантов Френеля-Брюстера для модели однородного слояЭллипсометрия скрытых азимутальных девиацийРелаксационная Uфэу – эллипсометрияКомпьютерное моделирование свойств решений прямой задачи эллипсометрии для однородного слояТиповые решения прямой задачи ОУЭ для однородного слояКонтрольные примеры решений ОУЭ для однослойной моделиСвойства решений обратной задачи эллипсометрии для слоя__Обратная оптическая задача__Сверхразрешение в фазовых изображенияхМодель фазового объектаСингулярности и критерий разрешения в фазовых изображенияхСингулярности и сверхразрешение в фазовых изображенияхЗаключение по теме «Сверхразрешение»__Список литературы