Технология микросистемной техники. Часть 1. Методы микрообработки

Рассмотрены современные методы микрообработки, применяе- мые в технологии изготовления микросистем: объемная микрооб- работка, поверхностная микрообработка, технология LIGA. Приве- дены сведения о материалах, применяемых в микросистемной тех- нике, и о методах соединения слоев микросистем. Для студентов 5–6-го курсов приборостроительных специально- стей.;Гриф:Рекомендовано Научно-методическим советом МГТУ им. Н.Э. Баумана в качестве учебного пособия