Технологические процессы и оборудование производства электронных средств. Часть 1. Вакуумно-плазменные процессы и оборудование

Учеб. пособие. - М.: МИЭТ, 2011. - 168 с.: ISBN 978-5-7256-0630-0 Изложены вопросы физики газовых разрядов, физико-химических процессов в газоразрядной плазме и механизмов взаимодействия ионов и химически активных частиц, генерируемых в плазме, с поверхностью обрабатываемого материала. Представленный материал охватывает физико-химические процессы, на основе которых реализуются технологические процессы в базовых видах технологического оборудования для производства приборов микро- и наноэлектроники, а также изделий микросистемной техники: нанесения и травления материалов в вакууме. Пособие содержит тот минимум знаний, который необходимо освоить студенту на уровне общего представления о вакуумно-плазменных процессах и современном серийном технологическом оборудовании. Предназначено для студентов направления 210100 «Электроника и наноэлектроника», изучающих дисциплину «Вакуумно-плазменные процессы и оборудование».