Technologien Für Mikrosysteme: Stand und Entwicklung / Integrier Optik -- Schichttechniken -- Mikromechanik -- Halbleitetechniken -- Faseroptik

Der Trend zur Verkleinerung technischer Produkte hält nun schon seit vielen Jahren an - der Weg von den Großrechnern früherer Tage über Tischrechner bis zu den Notebooks und Palmtops von heute, der Fernseher im Streichholzschachtelformat und CD-Plattenspieler, die bequem in Rock- und Hosentaschen Platz finden, sind nur einige Beispiele für diese Entwicklung. Zur Realisierung dieser Produkte mußten mechanische Komponenten wie Steckverbindungen oder Antriebe, optische und optoelektronische Kompo­ nenten wie Linsen oder Laser genauso miniaturisiert werden wie die mikroelektronischen Bauelemente. Die Integration solcher Komponenten zu einem System verlangte darüberhinaus nach ganz neuen Wegen in der Fertigungstechnik. Der gesamte Entwicklungsprozeß war nicht nur mit Investitionen in neuartige Maschinen und Anlagen verbunden, sondern auch mit einer ständigen Weiterbildung der Mitarbeiter. Der Trend zur Miniaturisierung ist bis heute ungebrochen und greift längst über die augenfälligen Beispiele der genannten Art hinaus. Von der Autoelektronik bis zur minimal-invasiven Chirurgie, von der Sicher­ heitstechnik in Gebäuden bis zum Hörgerät - miniaturisierte technische Geräte sind dabei, alte Probleme besser zu lösen oder bisher unlösbare lösbar zu machen. Besondere Beachtung werden dabei in Zukunft die viel­ faltigen Möglichkeiten zur Material- und Energieeinsparung finden. Front Matter....Pages I-XVII Technologische Innovationen durch Mikrosystemtechniken....Pages 1-19 Technometrie der Mikrosystemtechnik....Pages 21-97 Bibliometrie für die physikalische und (bio-)chemische Sensorik....Pages 99-109 Patentrecherche für die chemische und physikalische Sensorik....Pages 111-131 Zusammenfassung der Ergebnisse: FuE-Optionen für die Mikrosystemtechnik....Pages 133-162 Struktur und Nutzung der Datenblätter....Pages 163-196 Der Förderungsschwerpunkt Mikrosystemtechnik des BMFT....Pages 197-201 Back Matter....Pages 203-222 In diesem Werk werden fünf der zentralen Technologien der Mikrosystemtechnik dargestellt: Integrierte Optik, Schichttechniken, Mikromechanik, Halbleitertechnik, Faseroptik. Das zugrundeliegende Konzept der Technometrie ist ein Verfahren zur Charakterisierung der Mikrotechniken und dient zur Abschätzung ihrer Attraktivität in unterschiedlichen Phasen des Technologie-Lebenszyklus. Der erreichte Stand der Technik wird mit Technikindikatoren abgebildet, auf deren Basis Technologietrends und Entwicklungspotentiale abgeleitet werden