Синтез и характеризация летучих хелатов никеля(II) и кобальта(II) c различной комбинацией O,N-донорных атомов для формирования металлсодержащих покрытий методом MOCVD

{002} Оглавление {005} 01 - Введение {009} 02 - Литературный обзор {010} 1. Летучие соединения Ni и Co с C, P, N-донорными атомами {018} 1.1. Основные классы комплексов Ni(II) и Со(II, III) с органическими лигандами {018} 1.2. Комплексы Ni и Со с O,O-донорными атомами лигандами {022} 1.1. Комплексы Ni и Со с N,N-донорными атомами {033} 1.4. Комплексы Ni и Со с O,N-донорными атомами {038} 1.5. Комплексы Ni и Со с O,S- и S,S-донорными атомами {042} 2. Термические свойства соединений Ni и Со {042} 2.1. Термическое поведение комплексов Ni и Co в конденсированной фазе {046} 2.2. Измерение температурных зависимостей давлений насыщенного пара комплексов Ni и Со {052} 3. Использование летучих соединений Ni и Co в MOCVD процессах {055} 3.1. Получение биметаллических слоев на основе Co {056} 4. Заключение {058} 03 - Экспериментальная часть {059} 1. Синтез комплексов Ni(II) и Co(II) {059} 1.1. Исходные реагенты и растворители {060} 1.2. Объекты исследования и методики синтеза комплексов Ni(II) и Co(II) {061} 1. Синтез иминокетонатов и комплексов Ni(II) и Co(II) с основанием Шиффа {063} 2. Синтез аддуктов Ni(II) и Co(II) с пропилендиамином и 2,2-диметилпропилендиамином {064} 3. Синтез дииминатов Ni(II) и Co(II) {066} 2. Методы исследования и идентификации комплексов Ni(II) и Co(II) {066} 2.1. Методы идентификации комплексов Ni(II) и Co(II) {069} 2.2. Методы анализа Ni и Co-содержащих покрытий {071} 3. Методы характеризации комплексов Ni(II) и Co(II) {071} 3.1. Кристаллохимический анализ {071} 3.2. Дипольные моменты аддуктов Ni(II) {071} 3.3. Методы исследования термических свойств комплексов Ni(II) и Co(II) {071} 1. Термогравиметрический метод {072} 2. Дифференциально-сканирующая калориметрия {072} 3. Измерение давления насыщенного пара методом потока {073} 4. Измерение давления насыщенного пара статическим методом {074} 5. Измерение давления пара методом Кнудсена {074} 4. Осаждение Ni- и Co-содержащих пленок методом MOCVD {074} 4.1. Условия осаждения Ni- и Co-содержащих покрытий методом MOCVD {076} 4.2. Подложки (материал, размер, методы очистки) {077} 04 - Результаты и обсуждение {077} 1. Синтез и идентификация комплексов Ni(II) и Co(II) {077} 1.1. Аддукты β-дикетонатов Ni(II) и Co(II) с пропилендиамином {080} 1.2. Иминокетонаты Ni(II) и Co(II) {081} 1.3. Хелаты Ni(II) и Co(II) с основанием Шиффа {083} 1.4. Дииминаты Ni(II) и Co(II) {085} 2. Исследование кристаллических структур комплексов Ni(II) и Co(II) {085} 2.1. Аддукты β-дикетонатов Ni(II) и Co(II) c пропилендиамином {087} 2.2. Имнокетонаты и дииминаты Ni(II) и Co(II) {090} 2.3. Хелаты Ni(II) и Co(II) с основанием Шиффа {092} 3. Термические свойства комплексов Ni(II) и Co(II) в конденсированной фазе {092} 3.1. Аддукты β-дикетонатов Ni(II) и Co(II) c пропилендиамином {094} 3.2. Иминокетонаты Ni(II) и Co(II) {095} 3.3. Хелаты Ni(II) и Co(II) с основанием Шиффа {096} 3.4. Дииминат Co(II) {097} 4. Давления насыщенного пара комплексов Ni(II) и Co(II) {101} 5. Особенности процессов фрагментации хелатов Ni(II) {105} 6. Получение никельсодержащих покрытий методом MOCVD {105} 6.1. Характеристики никельсодержащих покрытий, полученных из предшественников с различными типами терминальных заместителей {109} 6.2. Характеристики никельсодержащих покрытий, полученных из предшественников с различной комбинацией донорных атомов {111} 7. Получение кобальтсодержащих покрытий методом MOCVD {114} 7.1. Влияние температуры осаждения на магнитные свойства кобальтсодержащих покрытий {117} 7.2. Влияние температуры испарителя на магнитные свойства кобальтсодержащих покрытий {119} 8. Осаждение биметаллических слоев CoxPt(1-x) {122} 05 - Основные результаты и выводы {124} Литература {137} Благодарности {138} Приложение