Распределения внедренных примесей с учетом эффекта каналирования: Учебное пособие

Пособие, посвященное изучению распределения внедренных примесей в монокристаллы с учетом эффекта каналирования, подготовлено на кафедре физики полупроводников микроэлектроники физического факультета Воронежского государственного университета. Рекомендуется для студентов 4 и 5 курсов физического факультета специальности 014100 ''Микроэлектроника и полупроводниковые приборы'', а также студентов 4 и 5 курсов, обучающихся в бакалавриатуре и магистратуре по направлению ''Физика'' (программа ''Физика полупроводников. Микроэлектроника'')