Основы технологии оптических материалов и изделий: учебное пособие (часть 2) для студентов направления «Фотоника и оптоинформатика»

4.1 Пленочная технология......Page 6 4.2 Процесс эпитаксии в технологии изготовления элементов фотоники ......Page 25 4.3 Литография......Page 29 5.1 Общая схема регулирования технологического процесса......Page 40 5.2 Моделирование производственных процессов......Page 41 5.3 Задающие устройства и первичные системы управления......Page 42 5.5 Типичные законы управления типа П, ПИ, ПИД......Page 44 5.6 Многоуровневые системы децентрализованного управления......Page 45 5.7 Программное обеспечение технологических процессов......Page 46 5.8 Пневмоавтоматика......Page 47 5.9 Числовое программное управление......Page 49 5.10 Автоматизация технологических процессов с помощью ЧПУ......Page 56 5.13 Язык Булевых уравнений......Page 58 5.15 Язык управления типа КАУТ......Page 59 5.17 Система управления "САМАС" ("КАМАК")......Page 60 5.18 Подсистема управления газовыми потоками......Page 62 5.19 Язык программирования измерительной аппаратуры SCPI......Page 63 5.20 Робототехника......Page 64 5.21 Системы «КАМАК» и «АРМ» для автоматического регулирования технологических процессов......Page 66 6.2 Сертификация и номенклатура оборудования......Page 68 6.3 Правила устройства электроустановок при проектировании новых производств......Page 69 6.4 Профилактика......Page 70 6.5 Сервисное обслуживание......Page 71 6.6 Технология расшифровки процесса молекулярно-лучевой эпитаксии91......Page 0 6.7 Классификация причин отказов......Page 92 6.9 Инструкции по эксплуатации типовых вакуумных установок с масляными средствами откачки......Page 95 6.10 Аварийные режимы вакуумного оборудования и методы реанимации режимов......Page 96 Список литературы......Page 97