Осаждение тонких пленок из низкотемпературной плазмы и ионных пучков в технологии микроэлектроники

معرفی کتاب «Осаждение тонких пленок из низкотемпературной плазмы и ионных пучков в технологии микроэлектроники» نوشتهٔ Григорьев Ф.И.. این کتاب در فرمت pdf، زبان ru ارائه شده است.