Optimierung von HF-Gasentladungen für schnell längsgeströmte CO2-Laser

Front Matter....Pages 1-10 Symbole und Abkürzungen....Pages 11-13 Einleitung....Pages 14-18 Die HF-Gasentladung....Pages 19-28 Anpassung des HF-Generators an die Entladung....Pages 29-38 Messung des Plasmawiderstands....Pages 39-52 Optimierungsparameter....Pages 53-60 Untersuchung der Entladungshomogenität....Pages 61-85 Interferometrische Untersuchungen....Pages 86-97 Messung der Kleinsignalverstärkung....Pages 98-113 Messung der Großsignalverstärkung....Pages 114-131 Zusammenfassung....Pages 132-143 Back Matter....Pages 144-151