Оптические методы формирования микроэлементов информационных систем: Учебное пособие

Учебное пособие......Page 3 BookmarkTitle:......Page 7 itmo268-2.pdf......Page 0 Введение......Page 9 ФОТОННЫЕ КРИСТАЛЛЫ......Page 10 МЕТОДЫ ОПТИЧЕСКОЙ ЛИТОГРАФИИ......Page 36 ФОРМИРОВАНИЕ МИКРОЭЛЕМЕНТОВ И МИКРОСТРУКТУР ПРИ ФОТООТВЕРЖДЕНИИ ПОЛИМЕРОВ......Page 65 Заключение......Page 77 BookmarkTitle:......Page 78 Контрольные вопросы......Page 79