Oberflächentechnologie mit Niederdruckplasmen : Beschichten und Strukturieren in der Mikrotechnik

Front Matter....Pages I-X Einleitung....Pages 1-3 Gleichstrom-Glimmentladung....Pages 5-9 Das Plasma....Pages 11-25 Erzeugung und Vernichtung von Ladungsträgern....Pages 27-61 DC-Entladungen....Pages 63-84 HF-Entladungen....Pages 85-146 Sputtern....Pages 147-190 Trockenätzverfahren....Pages 191-248 Ätzmechanismen....Pages 249-271 Ionenstrahlsysteme....Pages 273-286 Cyclotron-Systeme....Pages 287-312 Ausblick....Pages 313-317 Anhang....Pages 319-388 Verwendete Symbole und Akronyme....Pages 389-394 Bildquellennachweis....Pages 395-395 Back Matter....Pages 397-435