Нанотехнологические процессы самоорганизации наноструктур и наносборки радиоэлектронных систем

Рассмотрены процессы изготовления наноструктур различных размерностей с помощью их самоорганизации и наносборки, описаны процессы самосборки 2D-наноструктур (нанослоев), 1D-наноструктур (нанонитей) и 0D-наноструктур (наночастиц). Приведены основные понятия и описаны процедуры, необходимые для экспериментально- го и теоретического изучения процессов самоорганизации нанострук- тур, применяемых в нанотехнологиях. Для студентов 6-го курса.;Гриф:Рекомендовано редсоветом МГТУ им. Н.Э. Баумана в качестве учебного пособия