Наклонная ионная имплантация: Практикум к спецкурсу ''Моделирование в микроэлектронике''

Практикум по спецкурсу ''Моделирование в микроэлектронике'' подготовлен на кафедре физика полупроводников микроэлектроники Воронежского государственного университета. Рекомендуется для студентов 4 и 5 курсов физического факультета специальности ''Микроэлектроника и полупроводниковые приборы'', а также студентов 6 курса, обучающихся в магистратуре по направлению ''Физика'' (программа ''Физика полупроводников. Микроэлектроника'')