Modellierung von qualitäts- und effektivitätsbestimmenden Mechanismen beim Laserabtragen

Aus dem Inhalt Einführung: Ausgangslage - Phänomenologische Beschreibung des Laserabtragens - Qualität und Effektivität des Laserabtragens - Zielsetzung der Arbeit - Gliederung der Arbeit Modellierung des strukturierenden Abtrags: Dreidimensionales Abtragsmodell - Gültigkeitsgrenzen des Modells Qualitätsbestimmende Mechanismen beim Strukturieren: Einfluß der Vielfachreflexion beim Abtragen mit Excimerlaser ohne Werkstückvorschub -Strukturierung durch Abtrag mit Vorschub und variabler Maskengeometrie - Synopsis Simulation der Materialdampfexpansion: Phänomenologische Beschreibung der Expansion - Physikalische Formulierung der Expansion des verdampften Materials - Lösung mit dem Finite-Differenzen-Verfahren - Ergebnisse der Simulationsrechnungen - Synopsis Wechselwirkungsmechanismen im Materialdampf: Inverse Bremsstrahlung - Mie - Streuung - Auswirkung der Wechselwirkungsmechanismen auf die Materialdampfexpansion - Synopsis Effektivitätsbestimmende Faktoren ermittelt durch ganzheitliche Betrachtungsweise: Einfluß der Laserparameter auf die Effektivität - Einfluß des Umgebungsgases auf die Effektivität - Synopsis Zusammenfassung und Ausblick Literatur Anhang: Werkstoffeigenschaften / Dissoziation und Ionisation / Diskretisierung der Eulergleichungen / Explizite Berechnung des komplexen Brechungsindexes / Kritischer Radius, minimale Energie, Clusterdichte. Front Matter....Pages i-9 Einführung....Pages 11-18 Modellierung des strukturierenden Abtrags....Pages 19-28 Qualitätsbestimmende Mechanismen beim Strukturieren....Pages 29-40 Simulation der Materialdampfexpansion....Pages 41-59 Wechselwirkungsmechanismen im Materialdampf....Pages 61-85 Effektivitätsbestimmende Faktoren ermittelt durch ganzheitliche Betrachtungsweise....Pages 87-100 Zusammenfassung und Ausblick....Pages 101-102 Literatur....Pages 103-109 Back Matter....Pages 111-120