Микро- и нанотехнологии на основе когерентных и некогерентных источников излучения: учебное пособие

Светличный, А.М. Микро- и нанотехнологии на основе когерентных и некогерентных источников излучения : учебное пособие : [16+] / А.М. Светличный, И.Л. Житяев ; Южный федеральный университет. – Ростов-на-Дону ; Таганрог : Южный федеральный университет, 2018. – 97 с. : ил., табл., схем. – Режим доступа: по подписке. – URL: http://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=577688 (дата обращения: 17.08.2020). – Библиогр. в кн. – ISBN 978-5-9275-3097-7. – Текст : электронный.