Lehrbuch Mikrosystemtechnik: Anwendungen, Grundlagen, Materialien Und Herstellung Von Mikrosystemen (German Edition)

Nach der Vermittlung der mechanischen und fluidischen Grundelemente werden zunächst die sensorischen, generatorischen, aktorischen und mehrstufig sensorischen Wandler beschrieben. Es folgen Kapitel zu den Materialien in der Mikrosystemtechnik sowie zu Herstellungsverfahren für Mikrokomponenten, bevor die Konfektionierung der Mikrokomponenten erläutert und ein Einblick in die Mess- und Prüftechnik von Mikrosystemen gegeben wird. Abschließend werden Entwurf und Entwicklung von Bauelementen, die Umsetzung von Wirkprinzipien und der effektive Materialeinsatz diskutiert. Zu allen Kapiteln und größeren Abschnitten gibt es Zusammenfassungen, eine Übersicht über wichtige Schlüsselbegriffe sowie Hinweise auf weiterführende Literatur. Dadurch ist ein effizienter Einsatz des Buchs als Lehr- und Nachschlagewerk garantiert. Hochgradig systematisierter, sowohl fachlich als auch didaktisch aufbereiteter Lehransatz auf dem komplexen Gebiet der Mikrosystemtechnik. Main description: Das Buch geht zunächst auf die mechanischen Grundelemente, wie Balken und Brücken, und auf die fluidischen Grundelemente, wie Mikrokanäle und Mikroventile, ein. Es folgt die Beschreibung von sensorischen, generatorischen, aktorischen und mehrstufig sensorischen Wandlern sowie ein Kapitel zu den Materialen in der Mikrosystemtechnik. Hier wird auch auf die Basis-/Substratmaterialien eingegangen, wozu beispielsweise die Herstellung von Silizium-Wafern und die Charakterisierung von Silizium erläutert werden. Weiter werden Materialien wie Glas und Quarzglas, Keramiken und piezoelektrische Materialien, Metalle, Schichtwerkstoffe, Polymere und Lote näher charakterisiert. Anschließend werden Herstellungsverfahren für Mikrokomponenten, die Verfahren zur Strukturübertragung, die Prozesse zur Beeinflussung der Substrateigenschaften, Plasmaprozesse, Schichtabscheidungsverfahren sowie Strukturierungsverfahren erläutert. Es folgt die Konfektionierung der Mikrokomponenten, und ein Einblick in die Mess- und Prüftechnik von Mikrosystemen. Abschließend werden Entwurf und Entwicklung von Bauelementen, die Umsetzung von Wirkprinzipien und der effektive Materialeinsatz diskutiert. Als Orientierungshilfe sind zu Beginn jedes größeren Abschnitts die relevanten Schlüsselwörter vermerkt. Diese finden sich im Weiteren auch in der Marginalspalte wieder. Am Ende der Abschnitte befindet sich zudem der Absatz "Merke", in dem die wichtigsten Informationen noch einmalstichpunktartig zusammengefasst worden sind. So wird das Buch zum effizienten Nachschlagewerk für Studium und Praxis. Das Buch fußt auf den Erkenntnissen einer Kooperation der Fachgruppe Mikrostrukturierte mechatronische Systeme der TU München mit dem FB Medienpädagogik der Universität Augsburg. Gemeinsam wurde erstmalig ein hochgradig systematisierter, sowohl fachlich als auch didaktisch aufbereiteter Lehransatz auf dem komplexen Gebiet der Mikrosystemtechnik entwickelt, der einen einfachen Einstieg und tief greifendes Lernen ermöglicht Main description: Das Buch geht zunächst auf die mech. Grundelemente, wie Balken und Brücken, und auf die fluidischen Grundelemente, wie Mikrokanäle und Mikroventile, ein. Es folgt die Beschreibung von sensorischen, generatorischen, aktorischen und mehrstufig sensorischen Wandlern sowie ein Kapitel zu den Materialien in der Mikrosystemtechnik. Hier wird auch auf die Basis-/Substratmaterialien eingegangen, wozu bspw. die Herstllg. von Silizium-Wafern und die Charakterisierung von Silizium erläutert werden. Weiter werden Glas und Quarzglas, Keramiken und piezoelektr. Materialien, Metalle, Schichtwerkstoffe, Polymere und Lote näher charakterisiert. Anschl. werden Herstllg-verfahren für Mikrokomponenten, die Verfahren zur Strukturübertragung, die Prozesse zur Beeinflussung der Substrateigenschaften, Plasmaprozesse, Schichtabscheidungsverfahren sowie Strukturierungsverfahren erläutert. Es folgt Konfektionierung der Mikrokomponenten, und ein Einblick in die Mess- und Prüftechnik von Mikrosystemen. Abschließend werden Entwurf/Entwicklung von Bauelementen, die Umsetzung von Wirkprinzipien, effektive Materialeinsatz diskutiert. Als Orientierungshilfe sind zu Beginn jedes größeren Abschnitts relevante Schlüsselwörter vermerkt. Diese finden sich auch in der Marginalspalte. Am Ende der Abschnitte befindet sich zudem der Absatz, in dem die wichtigsten Informationen noch mal stichpunktartig zsgefasst worden sind. So wird das Buch zum effizienten Nachschlagewerk für Studium u. Praxis. Das Buch fußt auf den Erkenntnissen einer Koop. der Fachgr. Mikrostrukturierte mechatronische Systeme der TU München mit dem FB Medienpäd. der Univ. Augsburg. Gemeinsam wurde erstmalig ein hochgradig systematisierter, sowohl fachlich als auch didaktisch aufbereiteter Lehransatz auf dem komplexen Gebiet der Mikrosystemtechnik entwickelt, der einen einfachen Einstieg und tief greifendes Lernen ermöglicht