Химический анализ твердотельных гетеронаносистем методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии: Учебное пособие

1.1. Рентгеновское излучение 1.2. Обозначения атомных термов 1.3. Фотоионизация остовного уровня рентгеновским излучением 1.4. Оже-процесс в РФЭС 1.5. Фотоэлектронный спектр 1.6. Тонкая структура спектров РФЭС 1.7. Угловая зависимость интенсивности ФЭ-линий 1.8. Химический сдвиг фотоэлектронных и оже-линий 1.9. Спектры валентной зоны 1.10. Спектральное разрешение в методе РФЭС 2. Оборудование для метода РФЭС 2.1. Рентгеновские источники 2.3. Монохроматизация рентгеновского излучения 2.3. Полусферический анализатор энергии 2.4. СВВ комплекс Omicron Multiprobe RM 3. Методика анализа спектров в методе РФЭС 3.1. Математическая обработка спектров 3.2. Интегральная интенсивность ФЭ-линии 3.3. Методы расчета концентрации элементов 4. Послойный анализ в методе РФЭС 4.1. Ионное распыление 4.2. Разрешение по глубине при послойном анализе 5. Примеры применения метода РФЭС для химического анализа твердотельных структур 5.1. Исследование химического состава наноструктур на основе оксида кремния с нанокристаллами. 5.2. Диагностика состава структур спинтроники