Grundlagen zur Entwicklung reinraumtauglicher Handhabungssysteme

Der Einsatz von Handhabungssystemen in Fertigungen, die in Reinräumen stattfinden, gewinnt aus Gründen der Kontaminationsminimierung zunehmend an Bedeutung. Die eingesetzten Systeme basieren in der Regel auf funktionalen Gesichtspunkten. In der vorliegenden Veröffentlichung wird eine Meßmethode zur Lokalisierung von Partikelquellen an Handhabungssystemen aufgezeigt. Mit Hilfe dieser Meßmethodik werden die wesentlichen Baugruppen von Handhabungssystemen bezüglich ihrer Partikelemission untersucht sowie Modifikationen zum Zwecke der Minimierung der Partikelemission entwickelt. Die wesentlichen Erkenntnisse der zugrundeliegenden Untersuchungen werden in 10 Richtlinien zusammengefaßt. Mit deren Anwendung ist es möglich, reinraumtaugliche Handhabungssysteme zu entwickeln. Zur Lokalisierung von Schwachstellen steht die spezielle Meßmethodik zur Verfügung. Mit Hilfe dieser beiden Instrumentarien ist es möglich, ein optimales System mit minimaler Partikelemission aufzubauen. Front Matter....Pages 1-13 Einleitung....Pages 14-15 Stand der Technik....Pages 16-30 Entwicklungsschwerpunkte....Pages 31-34 Entwicklung einer Meßmethode zur Lokalisierung von Partikelquellen bei Handhabungssystemen....Pages 35-53 Untersuchung der Partikelemission von Handhabungskomponenten....Pages 54-80 Ableitung von Richtlinien zur Entwicklung reinraumtauglicher Handhabungssysteme....Pages 81-101 Umsetzung und Erprobung der Erkenntnisse an einem Praxisbeispiel....Pages 102-112 Zusammenfassung und Ausblick....Pages 113-114 Schrifttum....Pages 115-124 Back Matter....Pages 125-132 Der Einsatz von Handhabungssystemen in Fertigungen, die in Reinraumen stattfinden, gewinnt aus Grunden der Kontaminationsminimierung zunehmend an Bedeutung.