Гнездовая откачка электровакуумных приборов с ионно-плазменной очисткой и герметизацией диффузионной сваркой

Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. Работа выполнена в Государственном образовательном учреждении высшего профессионального образования Саратовский государственный технический университет. Специальность 05 27 02 – Вакуумная и плазменная электроника. Саратов, 2009, 23с. Целью работы является моделирование, разработка и исследование процессов гнездовой откачки ЭВП с ионно-плазменной очисткой электродов и герметизацией диффузионной сваркой, обеспечивающих улучшение вакуумно-электрических характеристик приборов, сокращение длительности откачки, уменьшение энергозатрат. Для достижения этой цели необходимо решить следующие задачи: Построить модель гнездовой откачки, позволяющую определить размеры откачного отверстия в гнезде, величину разнесения заглушки с учетом откачного отверстия в приборе, позволяющую рассчитать максимальную проводимость зазоров в системе «прибор-гнездо-насос» для полного удаления потока газов из прибора на всех этапах вакуумно-термической обработки. Построить модель удаления газов в системе «откачное отверстие в приборе - гнездо с заглушкой - выпускной патрубок гнезда», позволяющую применить гнездовую откачку с совмещенными режимами термического нагрева приборов за счет собственной электродной системы и режимов ионно-плазменной очистки. Обосновать возможности применения при гнездовой откачке совмещенных режимов вакуумно-термической обработки с ионно-плазменной очисткой электродов ЭВП, обеспечивающих улучшение степени очистки электродов, снижение остаточного давления и сокращение длительности цикла откачки. Исследовать возможности сокращения длительности откачки при совмещенных режимах вакуумно-термической обработки ЭВП на откачном посту и экономии энергоресурсов за счет обезгаживания собственной электродной системой. Разработать режимы герметизации ЭВП по клиновой схеме диффузионной сваркой при гнездовой откачке. Исследовать возможности улучшения электрических параметров ЭВП с вольфрамоториевым катодом при гнездовой откачке. Разработать оборудование для гнездовой откачки ЭВП с ИПО электродов и герметизацией ДС.