Физические основы продукции высокотехнологичного производства

E E ΔE E Э К Б Э К Б Бонч-Бруевич В. Л. Физика полупроводников / В. Л. Бонч-Бруевич, С. Г. Калашников. – 2-е изд. – Москва : Наука, 1990. – 685 с. Старосельский В. И. Физика полупроводниковых приборов микроэлектроники : учебное пособие / В. И. Старосельский. – Москва : Высшее образование : Юрайт, 2009. – 453 с.