Физические основы микро- и нанотехнологий

Даны краткие сведения из отдельных разделов физики и смеж- ных наук, составляющих физические основы микро- и нанотехноло- гий. Рассмотрены основные законы, понятия и определения физичес- ких явлений, процессов и сред, являющихся основой этих техноло- гий. Приведены методы преобразования фундаментальных физичес- ких законов в прикладные технологические зависимости, расчеты фи- зических закономерностей, определяющих параметры процессов микро- и нанотехнологий. Для студентов 3-го и 4-го курсов, обучающихся по специально- сти «Электронное машиностроение».