Fertigung von Mischlosen in der Mikroelektronik auf der Basis eines Verfahrens zur Verfolgung von Einzelscheiben

Front Matter....Pages 1-12 Einleitung....Pages 13-14 Stand der Technik....Pages 15-23 Einflüsse auf die wirtschaftliche Fertigung flexibler Losgrößen....Pages 24-34 Ableitung der Entwicklungsschwerpunkte....Pages 35-38 Konzeption eines Verfahrens zur Mischlosbildung....Pages 39-68 Entwicklung eines Systems zur Einzelscheibenverfolgung....Pages 69-104 Realisierung und Erprobung....Pages 105-112 Zusammenfassung und Ausblick....Pages 113-114 Literatur....Pages 115-123 Back Matter....Pages 125-125