Элионная технология в микро- и наноиндустрии: неразрушающие методы контроля процессов осаждения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций: учебное пособие

معرفی کتاب «Элионная технология в микро- и наноиндустрии: неразрушающие методы контроля процессов осаждения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций: учебное пособие» نوشتهٔ Кузнецов Г.Д., Сергиенко А.А., Симакин С.Б.، منتشرشده توسط نشر Издательство "МИСИС" در سال 2012. این کتاب در فرمت pdf، زبان ru ارائه شده است.