Эффективность ввода мощности в индуктивный ВЧ-источник ионов

Институт прикладной физики НАН Украины Статья в журнале Nano- Electron. Phis. 2010, T. 2 No 02 - С. 25-34 Исследовался высокочастотный индуктивный ионный источник без магнитного поля, работающий на частоте 27,12 МГц. Диаметр разрядной камеры источника равен 3 см, длина - 8 см. Измерялись внешние электрические параметры источника, такие как антенный ток и напряжение на антенне, в диапазоне ВЧ-мощности 10 - 400 Вт и давления рабочего газа (аргон) 0,1 - 1 Па. Используя трансформаторную модель индуктивного ВЧ-разряда, определена эффективность ввода ВЧ-мощности в плазму ионного источника. При давлении аргона 0,5 Па и подводимой ВЧ-мощности в интервале 50 - 400 Вт в плазму вводится около 75 % мощности.