Диагностика материалов методами сканирующей зондовой микроскопии

Учебное пособие. СПб.:Изд-во СПбГЭТУ «ЛЭТИ». 2012. 172 с. ISBN 978-5-7629-1243-3 Авторы: О.А. Александрова, П.А. Алексеев, И.Е. Кононова, А.И. Максимов, Е.В. Мараева, В.А. Мошников, Е.Н. Муратова, С.С. Налимова, Н.В. Пермяков, Ю.М. Спивак, А.Н. Титков Содержит систематизированные и оформленные в виде лабораторных работ оригинальные методики сканирующей зондовой микроскопии, разработанные на кафедре микро- и наноэлектроники СПбГЭТУ «ЛЭТИ» и в лаборатории оптики поверхности ФТИ им. А. Ф. Иоффе РАН. Предназначено магистрантам направления 210100.68 «Электроника и наноэлектроника», магистерская программа 210161.68 «Нанотехнология и диагностика» (при изучении дисциплин: «Материаловедение микро- и наносистем», «Наноматериалы», «Зондовые и пучковые нанотехнологии», «Технология пористых материалов», «Нанотехнологии в альтернативной энергетике»), а также студентам бакалавриата направления 210100.62 «Электроника и наноэлектроника» и 222900.62 «Нанотехнологии и микросистемная техника». Рецензенты: кафедра микро- и наноэлектроники Пензенско Содержание: Принципы сканирующей зондовой микроскопии и основные блоки СЗ-микроскопов Физические основы сканирующей туннельной микроскопии Физические основы атомной силовой микроскопии Моды сканирующей зондовой микроскопии Типы зондов и методы их изготовления Геометрия и физические свойства кантилеверов Специальные кантилеверы Исследование полупроводников методами СЗМ Сканирующая туннельная спектроскопия энергетического спектра полупроводников Регистрация силовых взаимодействий, обусловленных ∂С/∂Z Кельвин-мода Бесконтактная емкостная мода ССМ в тестировании и метрологии элементов микро- и наноэлектроники Методы модификации поверхности (нанолитография) с помощью СЗМ Силовая литография (plowing lithography) Локальное оксидирование Перьевая нанолитография (dip-pen nanolithography) Другие виды СЗМ-литографии Молекулярное и атомарное манипулирование Методики исследования наноматериалов с применением АС-микроскопа Исследование поверхности материалов в контактном и полуконтактном режимах Исследование свойств поверхностей полимеров с помощью силовой спектроскопии Исследование морфологии пористого оксида алюминия при вариации технологических условий получения Цифровая обработка АСМ-изображений пористого оксида алюминия Изучение локальных свойств пленочных наноструктурированных материалов с помощью двухпроходных методик электросиловой микроскопии Исследование фоточувствительных наноструктурированных слоев на основе PbSe методом отображения сопротивления растекания и спектроскопии тока Определение модуля Юнга нанопроводов из арсенида галлия Локальное анодное оксидирование поверхности кристаллов Si под зондом атомно-силового микроскопа Исследование особенностей физико-химических процессов на поверхности посредством методики островковых контактов Перспективы развития методов СЗМ Учебное пособие. СПб.:Изд-во СПбГЭТУ «ЛЭТИ». 2012. 172 с. ISBN 978-5-7629-1243-3Авторы: О.А. Александрова, П.А. Алексеев, И.Е. Кононова, А.И. Максимов, Е.В. Мараева, В.А. Мошников, Е.Н. Муратова, С.С. Налимова, Н.В. Пермяков, Ю.М. Спивак, А.Н. Титков Содержит систематизированные и оформленные в виде лабораторных работ оригинальные методики сканирующей зондовой микроскопии, разработанные на кафедре микро- и наноэлектроники СПбГЭТУ «ЛЭТИ» и в лаборатории оптики поверхности ФТИ им. А. Ф. Иоффе РАН. Предназначено магистрантам направления 210100.68 «Электроника и наноэлектроника», магистерская программа 210161.68 «Нанотехнология и диагностика» (при изучении дисциплин: «Материаловедение микро- и наносистем», «Наноматериалы», «Зондовые и пучковые нанотехнологии», «Технология пористых материалов», «Нанотехнологии в альтернативной энергетике»), а также студентам бакалавриата направления 210100.62 «Электроника и наноэлектроника» и 222900.62 «Нанотехнологии и микросистемная техника». Рецензенты: кафедра микро- и наноэлектроники ПензенскоСодержание:**Принципы сканирующей зондовой микроскопии и основные блоки СЗ-микроскопов** Физические основы сканирующей туннельной микроскопииФизические основы атомной силовой микроскопииМоды сканирующей зондовой микроскопииТипы зондов и методы их изготовления__Геометрия и физические свойства кантилеверовСпециальные кантилеверы__**Исследование полупроводников методами СЗМ**Сканирующая туннельная спектроскопия энергетического спектра полупроводниковРегистрация силовых взаимодействий, обусловленных ∂С/∂Z__Кельвин-модаБесконтактная емкостная мода ССМ в тестировании и метрологии элементов микро- и наноэлектроники__**Методы модификации поверхности (нанолитография) с помощью СЗМ**Силовая литография (plowing lithography)Локальное оксидированиеПерьевая нанолитография (dip-pen nanolithography)Другие виды СЗМ-литографииМолекулярное и атомарное манипулирование **Методики исследования наноматериалов с применением АС-микроскопа**Исследование поверхности материалов в контактном и полуконтактном режимах Исследование свойств поверхностей полимеров с помощью силовой спектроскопииИсследование морфологии пористого оксида алюминия при вариации технологических условий полученияЦифровая обработка АСМ-изображений пористого оксида алюминияИзучение локальных свойств пленочных наноструктурированных материалов с помощью двухпроходных методик электросиловой микроскопииИсследование фоточувствительных наноструктурированных слоев на основе PbSe методом отображения сопротивления растекания и спектроскопии тока Определение модуля Юнга нанопроводов из арсенида галлияЛокальное анодное оксидирование поверхности кристаллов Si под зондом атомно-силового микроскопаИсследование особенностей физико-химических процессов на поверхности посредством методики островковых контактов **Перспективы развития методов СЗМ**