Ближнепольная сверхвысокочастотная микроскопия

Институт физики микроструктур РАН, ГСП-105, Н.Новгород, 5 с. Ближнепольная (БП) микроскопия – это способ диагностики, разрешающая способность которого не зависит от рабочей длины волны устройства λ, а определяется размером апертуры зонда D. Уже к концу 1990-х были созданы БП микроскопы (БПМ) микронного и субмикронного разрешения. В самое последнее время появились первые образцы БПМ, имеющие D~30 нм. Для приборов диапазона СВЧ соотношение D/λ составляет 10 -5 - 10 -6 , т.е. устройства обладают «глубоким» субволновым разрешением. Важно, что БП микроскопия это бесконтактная неразрушающая диагностика. Наибольшие перспективы применения БПМ связывают с твердотельной микро- и нано-электроникой, хотя, соответствующие методы интересны также для материаловедения, дефектоскопии, медицины, фундаментальных исследований и др.