Анализ и исследование полупроводниковых материалов: учебное пособие

Учебное пособие. — Самара: Самарский государственный аэрокосмический университет, 2008. — 84 с. — ISBN 978-5-7883-0697-1. Изложены теоретические основы процессов, используемых в исследовании полупроводниковых материалов и их технологии и базирующихся на гетерогенном равновесии системы конденсированная фаза - газ. Рассмотрены особенности тензиметрических методов исследования материалов электронной техники. Описаны физико-химические основы исследования веществ и полупроводниковых материалов на их основе. Предназначено для студентов специальности 210201 - Проектирование и технология радиоэлектронных средств. Содержание Введение Теоретические основы процессов, используемых в исследовании полупроводников материалов и их технологии Роль процессов испарения и конденсации в технологии микроэлектроники Классификация процессов испарения Уравнение Клаузиуса-Клапейрона Общий подход к равновесию системы конденсированная фаза-газ Различные формы уравнений температурной зависимости давления насыщенного пара и константы равновесия Вычисление термодинамических величин по данным равновесия Тензиметрические методы исследования полупроводниковых материалов Статические методы Квазистатические методы Динамические методы Метод электродвижущих сил Термохимические методы исследования полупроводников и диэлектриков Определение стандартных теплот образования Определение теплоемкости Масс-спектрометрический метод Газохроматографический метод Список литературы