5-й Международный симпозиум по теоретической и прикладной плазмохимии: Сборник материалов. Т.1 (Иваново, 3-8 сентября 2008 г.)

ПЛЕНАРНЫЕ ДОКЛАДЫлекции школы молодых учёных......Page 20 ИСПОЛЬЗОВАНИЕ ПЛАЗМЕННО-ТОПЛИВНЫХ СИСТЕМ НА ТЭС РОССИИ, КАЗАХСТАНА, КИТАЯ И ТУРЦИИ......Page 21 ПЛАЗМОТРОН С РАПЛАВЛЯЕМЫМИ ЭЛЕКТРОДАМИ: ОТ ИССЛЕДОВАНИЙ К НОВЫМ ТЕХНОЛОГИЯМ......Page 28 ФИЗИКОХИМИЯ И ТЕХНОЛОГИЯ ПЛАЗМЕННОЙ НАНОПОРОШКОВОЙ МЕТАЛЛУРГИИ......Page 38 ПЛАЗМЕННАЯ МЕДИЦИНА......Page 42 МОДИФИКАЦИЯ СВОЙСТВ ПОЛИМЕРНЫХ МЕМБРАН ПОД ВОЗДЕЙСТВИЕМ НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ПЛАЗМЫ......Page 46 ПЛАЗМЕННЫЙ ЭЛЕКТРОРАДИОЛИЗ ВОДНЫХ РАСТВОРОВ......Page 50 МОДИФИЦИРОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТИ ТЕКСТИЛЬНЫХ МАТЕРИАЛОВ ИЗ ПРИРОДНЫХ ВОЛОКОН ВОЗДЕЙСТВИЕМ НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ПЛАЗМЫ И ПЕРСПЕКТИВНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ......Page 54 ДИАГНОСТИКА ПЛАЗМЕННЫХ ПРОЦЕССОВ В МИКРО- И НАНОЭЛЕКТРОНИКЕ......Page 63 ВОЗБУЖДЕННЫЕ АТОМЫ И МОЛЕКУЛЫ В ФИЗИКО - ХИМИЧЕСКИХ ПРОЦЕССАХ И ДИАГНОСТИКЕ НЕРАВНОВЕСНОЙ ПЛАЗМЫ......Page 66 ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ В ЗАЩИТЕ ОКРУЖАЮЩЕЙ СРЕДЫ......Page 71 ФИЗИЧЕСКАЯ ХИМИЯ ПЛАЗМЕННО-РАСТВОРНЫХ СИСТЕМ......Page 75 ПЛАЗМА В ГАЛОГЕНВОДОРОДАХ: СВОЙСТВА И ПЕРСПЕКТИВЫ ПРИМЕНЕНИЯ В ТЕХНОЛОГИИ МИКРО- И НАНОЭЛЕКТРОНИКИ......Page 79 ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ В СИСТЕМЕ НЕРАВНОВЕСНАЯ ПЛАЗМА – ПОЛИМЕР......Page 82 КИНЕТИКА, ТЕРМОДИНАМИКА И МЕХАНИЗМЫ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИХ РЕАКЦИЙ......Page 86 ЗАКОНОМЕРНОСТИ ОБРАЗОВАНИЯ ПЕРОКСИДА ВОДОРОДА ПРИ ЭЛЕКТРОРАДИОЛИЗЕ ВОДНЫХ РАСТВОРОВ......Page 87 ОЧИСТКА ВОЗДУХА ОТ ФОРМАЛЬДЕГИДА В СОВМЕЩЁННОМ ПЛАЗМЕННО-КАТАЛИТИЧЕСКОМ ПРОЦЕССЕ......Page 91 КОНСТАНТЫ СКОРОСТЕЙ ТЕРМИЧЕСКОЙ ДИССОЦИАЦИИ И ТРЕХЧАСТИЧНОЙ АССОЦИАЦИИ И КОНСТАНТА РАВНОВЕСИЯ ДЛЯ ДВУХАТОМНЫХ МОЛЕКУЛ И РАДИКАЛОВ......Page 95 ПРОЦЕССЫ ВОЗБУЖДЕНИЯ МОЛЕКУЛ С2 В ПЛАЗМЕ ГАЗОВОГО РАЗРЯДА......Page 99 ПЛАЗМЕННО-КАТАЛИТИЧЕСКАЯ ОЧИСТКА СТОЧНЫХ ВОД ОТ ОРГАНИЧЕСКИХ СОЕДИНЕНИЙ.......Page 103 МЕХАНИЗМЫ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ TaN В РЕАКТОРЕ ВЫСОКОПЛОТНОЙ ПЛАЗМЫ......Page 107 МЕХАНИЗМ ФОРМИРОВАНИЯ ПАССИВИРУЮЩЕГО СЛОЯ ПРИ ТРАВЛЕНИИ КАНАВОК В КРЕМНИИ В ПЛАЗМЕ Cl2/O2/N2 ДЛЯ ИЗОЛЯЦИИ ЭЛЕМЕНТОВ В ИС......Page 111 ТЕРМИЧЕСКАЯ ПЫЛЕВАЯ ПЛАЗМА ЩЕЛОЧНЫХ МЕТАЛЛОВ – ЭФФЕКТИВНОЕ СРЕДСТВО ПОЛУЧЕНИЯ ДЕБАЕВСКИХ АТОМОВ И МОЛЕКУЛ......Page 115 ВОСПЛАМЕНЕНИЕ С ПОМОЩЬЮ НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ПЛАЗМЫ. КИНЕТИЧЕСКИЙ МЕХАНИЗМ И ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ ПРОВЕРКА......Page 118 СТРУКТУРА И СВОЙСТВА ПРИЭЛЕКТРОДНОЙ ОБЛАСТИ ЭЛЕКТРОДНОГО СВЧ РАЗРЯДА В АЗОТЕ......Page 121 ПОЛУЭМПИРИЧЕСКАЯ ПОУРОВНЕВАЯ СТОЛКНОВИТЕЛЬНО – ИЗЛУЧАТЕЛЬНАЯ МОДЕЛЬ ДЛЯ ДИАГНОСТИКИ НЕРАВНОВЕСНОЙ АЗОТНОЙ ПЛАЗМЫ......Page 125 ПОЛУЭМПИРИЧЕСКАЯ СТОЛКНОВИТЕЛЬНО – ИЗЛУЧАТЕЛЬНАЯ МОДЕЛЬ ДЛЯ ДИАГНОСТИКИ НЕРАВНОВЕСНОЙ ВОДОРОДНОЙ ПЛАЗМЫ......Page 129 КОЛЕБАТЕЛЬНАЯ КИНЕТИКА ЭЛЕКТРОННО-ВОЗБУЖДЕННЫХ СОСТОЯНИЙ N2(A3(,V) В ГАЗОРАЗРЯДНОЙ ПЛАЗМЕ......Page 133 ИЗУЧЕНИЕ КИНЕТИКИ ГИБЕЛИ АТОМОВ В ПЛАЗМЕ ХЛОРА И ЕГО СМЕСЕЙ С ИНЕРТНЫМИ И МОЛЕКУЛЯРНЫМИ ГАЗАМИ НА ТВЕРДЫХ ПОВЕРХНОСТЯХ......Page 138 ХРОМАТОМАСС-СПЕКТРОМЕТРИЯ ПРОДУКТОВ РАДИОЛИЗА ЖИДКИХ ОРГАНИЧЕСКИХ СОЕДИНЕНИЙ ПОД ДЕЙСТВИЕМ ИМПУЛЬСНОГО ПУЧКА ЭЛЕКТРОНОВ: НОВЫЕ ВОЗМОЖНОСТИ......Page 142 ВЛИЯНИЕ ТЕМПЕРАТУРЫ СТЕНКИ РЕАКТОРА НА ПАРАМЕТРЫ ФТОРУГЛЕРОДНОЙ ПЛАЗМЫ ВЫСОКОЧАСТОТНОГО РАЗРЯДА НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ......Page 150 УПРАВЛЕНИЕ РАСПРЕДЕЛЕНИЕМ ПОЛИМЕРНЫХ МИКРО- НАНОЧАСТИЦ В ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЙ СИСТЕМЕ С ИСКУССТВЕННОЙ ГРАВИТАЦИЕЙ......Page 154 ВЛИЯНИЕ ТЕМПЕРАТУРЫ СТЕНКИ РЕАКТОРА НА КИНЕТИКУ ГЕТЕРОГЕННЫХ ПРОЦЕССОВ В ПЛАЗМЕ О2 И О2+Ar......Page 158 ОБЪЕМНЫЙ ИМПУЛЬСНЫЙ РАЗРЯД С ПРЕДЫОНИЗАЦИЕЙ УЛЬТРАФИОЛЕТОВЫМ ИЗЛУЧЕНИЕМ В ПОТОКЕ ГАЗА......Page 160 ИССЛЕДОВАНИЕ ТЕРМОДИНАМИЧЕСКИХ ХАРАКТЕРИСТИК ХИМИЧЕСКИ АКТИВНОЙ ПЫЛЕВОЙ ПЛАЗМЫ СЛОЖНОГО ХИМИЧЕСКОГО СОСТАВА......Page 163 ОЧИСТКА ВОДЫ ОТ ОРГАНИЧЕСКИХ СОЕДИНЕНИЙ В ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКИХ ПРОЦЕССАХ И ОЗОНИРОВАНИЕМ......Page 167 ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОСТРАНСТВЕННОГО РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ВОЗБУЖДЕННЫХ СОСТОЯНИЙ МОЛЕКУЛ В ПЛАЗМЕ РАЗРЯДА В СМЕСЯХ, СОДЕРЖАЩИХ СО......Page 171 ВЛИЯНИЕ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА НА ИЗМЕНЕНИЕ КИСЛОТНОСТИ И ЭЛЕКТРОПРОВОДНОСТИ РАСТВОРОВ......Page 174 НАЧАЛЬНЫЕ СТАДИИ ОБРАЗОВАНИЯ ПОЛИМЕРНОГО АЭРОЗОЛЯ В ТЛЕЮЩЕМ РАЗРЯДЕ......Page 177 ИССЛЕДОВАНИЕ ГИБЕЛИ АТОМОВ В ПЛАЗМЕ ХЛОРА НА АЛЮМИНИЕВЫХ ОБРАЗЦАХ......Page 180 ВЛИЯНИЕ ДОБАВОК СПИРТОВ НА ОБРАЗОВАНИЕ ПЕРОКСИДА ВОДОРОДА В ПЛАЗМЕННО-РАСТВОРНЫХ СИСТЕМАХ......Page 183 ИССЛЕДОВАНИЕ ДЕЙСТВИЯ СКОЛЬЗЯЩЕГО РАЗРЯДА НА РАСТВОР ЭЛЕКТРОЛИТА......Page 187 О ВОЗНИКНОВЕНИИ СЛОЕВ ПРОСТРАНСТВЕННОГО ЗАРЯДА В ПЛАЗМЕ СО СКАЧКАМИ СКОРОСТИ ИОНИЗАЦИИ......Page 191 МОДЕЛИРОВАНИЕ ЭЛЕКТРОДНОГО СВЧ РАЗРЯДА В ВОДОРОДЕ И АЗОТЕ......Page 195 ВЛИЯНИЕ ДИАФРАГМЕННОГО РАЗРЯДА НА ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА РАСТВОРОВ ЭЛЕКТРОЛИТОВ......Page 199 ПЕРЕНОС НЕЛЕТУЧИХ КОМПОНЕНТОВ РАСТВОРА В ГАЗОВУЮ ФАЗУ ПОД ДЕЙСТВИЕМ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА......Page 201 КИНЕТИКА И МЕХАНИЗМЫ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ АЛЮМИНИЯ В ХЛОРЕ И ХЛОРОВОДОРОДЕ......Page 205 ИССЛЕДОВАНИЕ КИНЕТИКИ НЕРАВНОВЕСНОГО ИСПАРЕНИЯ ЭЛЕКТРОЛИТА ПОД ДЕЙСТВИЕМ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА С ЖИДКИМ КАТОДОМ......Page 209 О ДИНАМИКЕ ФАЗОВЫХ ПЕРЕХОДОВ В ПОЛЕ ИНТЕНСИВНОГО ЛАЗЕРНОГО ИЗЛУЧЕНИЯ......Page 212 КИНЕТИКА И МЕХАНИЗМЫ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ В ХЛОРОВОДОРОДЕ......Page 216 НЕЛИНЕЙНЫЕ ЭФФЕКТЫ ПРОЦЕССОВ ПЕРЕНОСА И СПЕКТРАЛЬНЫХ ХАРАКТЕРИСТИК ПЛАЗМЕННО-РАСТВОРНЫХ СИСТЕМ......Page 220 КОНЦЕНТРАЦИЯ АТОМОВ КИСЛОРОДА В ПОЛОЖИТЕЛЬНОМ СТОЛБЕ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА В СМЕСИ О2+Ar......Page 224 ВЛИЯНИЕ ДОБАВКИ АРГОНА НА ВЕРОЯТНОСТИ ГЕТЕРОГЕННОЙ РЕКОМБИНАЦИИ АТОМОВ КИСЛОРОДА В НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ПЛАЗМЕ О2+Ar......Page 228 СПЕКТРЫ ИЗЛУЧЕНИЯ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА С ЭЛЕКТРОЛИТНЫМ КАТОДОМ......Page 231 ЭНЕРГЕТИЧЕСКОЕ РАСПРЕДЕЛЕНИЕ ИОНОВ В ПРИКАТОДНЫХ ОБЛАСТЯХ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА В СМЕСИ O2–Ar......Page 234 ИССЛЕДОВАНИЕ ЗАКОНОМЕРНОСТЕЙ ТРАВЛЕНИЯ ПЛЕНОК ПОЛИ-МОНОХЛОРО-ПАРА-КСИЛИЛЕНА В ПЛАЗМЕ ВЧ РАЗРЯДА В КИСЛОРОДЕ......Page 237 ФИЗИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ РАЗРЯДА АТМОСФЕРНОГО ДАВЛЕНИЯ С ЖИДКИМ ЭЛЕКТРОЛИТНЫМ КАТОДОМ......Page 242 ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ РАЗРЯДА АТМОСФЕРНОГО ДАВЛЕНИЯ С ПРОТОЧНЫМ ЭЛЕКТРОЛИТНЫМ КАТОДОМ......Page 246 КИНЕТИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ЭЛЕКТРОНОВ В ПЛАЗМЕ СМЕСИ АРГОН-КИСЛОРОД......Page 250 МОДЕЛИРОВАНИЕ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ. ОЦЕНКА ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЙ И ЭКОНОМИЧЕСКОЙ ЭФФЕКТИВНОСТИ......Page 253 ИССЛЕДОВАНИЕ ЗАКОНОВ ПОДОБИЯ В БАРЬЕРНЫХ РАЗРЯДАХ В СМЕСИ 0.95Ne/0.05Xe......Page 254 ОПТИМИЗАЦИЯ ПАРАМЕТРОВ КСЕНОНОВЫХ ЭКСИЛАМП В РАМКАХ ОДНОМЕРНОЙ ДИФФУЗИОННО-ДРЕЙФОВОЙ МОДЕЛИ БАРЬЕРНОГО РАЗРЯДА......Page 258 КОЛЕБАТЕЛЬНАЯ ФУНКЦИЯ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ МОЛЕКУЛ СО ПРИ ИНТЕНСИВНОМ УДЕЛЬНОМ ВОЗБУЖДЕНИИ В ЭЛЕКТРИЧЕСКОМ РАЗРЯДЕ......Page 262 СТРУКТУРА ПОЛОЖИТЕЛЬНОГО СТОЛБА РАЗРЯДА ПОСТОЯННОГО ТОКА В ПОПЕРЕЧНОМ ПОТОКЕ ВОЗДУХА......Page 266 МОДЕЛИРОВАНИЕ ДИССОЦИАЦИИ КИСЛОРОДА В СМЕСЯХ ГАЗОВ ИМПУЛЬСНО ПЕРИОДИЧЕСКИМ РАЗРЯДОМ......Page 270 РЕАКЦИИ С УЧАСТИЕМ СИНГЛЕТНОГО КИСЛОРОДА O2(A1(G) И ИХ ВЛИЯНИЕ НА ВОСПЛАМЕНЕНИЕ H2 : O2 СМЕСЕЙ......Page 274 ИМИТАЦИОННОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТНОЙ ДИФФУЗИИ И РЕКОМБИНАЦИИ АТОМОВ......Page 278 МЕТОД БИОТЕСТИРОВАНИЯ В ОЦЕНКЕ ЭФФЕКТИВНОСТИ РАБОТЫ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИХ ОЧИСТНЫХ УСТРОЙСТВ......Page 281 ОБ ЭФФЕКТИВНОСТИ КОНВЕРСИИ МЕТАНА В ПЛАЗМЕ ВОДЯНОГО ПАРА......Page 285 АНАЛИЗ ПРОЦЕССОВ ОБРАЗОВАНИЯ И ГИБЕЛИ АКТИВНЫХ ЧАСТИЦ В ЖИДКОЙ ФАЗЕ ПОД ДЕЙСТВИЕМ РАЗРЯДА АТМОСФЕРНОГО ДАВЛЕНИЯ......Page 289 МОДЕЛИРОВАНИЕ ФОРМИРОВАНИЯ ГЛУБОКИХ С РАЗНЫМ ПРОФИЛЕМ КАНАВОК В КРЕМНИИ В ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОМ, ЦИКЛИЧЕСКОМ ПРОЦЕССЕ......Page 293 ОРГАНИЧЕСКИЙ И НЕОРГАНИЧЕСКИЙ СИНТЕЗ ГАЗОФАЗНЫХ И ТВЕРДОФАЗНЫХ ПРОДУКТОВ......Page 297 ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЙ СИНТЕЗ ПЛЕНОК НИТРИДА УГЛЕРОДА ИЗ ЛЕТУЧИХ АМИНОПРОИЗВОДНЫХ......Page 298 ПОЛУЧЕНИЕ УЛЬТРАДИСПЕРСНЫХ ПОРОШКОВ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ЛАЗЕРНОЙ ЭРОЗИОННОЙ ПЛАЗМЫ......Page 302 СИНТЕЗ ПОЛУПРОВОДЯЩИХ ПОЛИМЕРНЫХ ПЛЕНОК ИЗ АНИЛИНА В РАЗРЯДЕ ПОСТОЯННОГО ТОКА......Page 306 ВЫСОКООТРАЖАЮЩЕЕ ТОКОПРОВОДЯЩЕЕ ЗЕРКАЛО......Page 309 ГОМОЛИЗ Al-, Ti-, Zr- И Cr-ОРГАНИЧЕСКИХ СОЕДИНЕНИЙ, ИММОБИЛИЗОВАННЫХ НА ПОВЕРХНОСТИ ЧАСТИЦ СИЛИКАГЕЛЯ, ПОД ДЕЙСТВИЕМ ВЧ ТЛЕЮЩЕГО ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО РАЗРЯДА......Page 313 ГАЗОФАЗНОЕ ОСАЖДЕНИЕ ПЛЕНОК SiCN ИЗ ГЕКСАМЕТИЛБРОМДИСИЛАЗАНА С АКТИВАЦИЕЙ УДАЛЕННОЙ ПЛАЗМОЙ......Page 316 СТРУКТУРА И НЕКОТОРЫЕ СВОЙСТВА МАТЕРИАЛА, ОСАЖДЕННОГО ИЗ НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ПЛАЗМЫ НА СТЕНКАХ ВАКУУМНОЙ КАМЕРЫ......Page 320 КОНВЕРСИЯ УГЛЕВОДОРОДНЫХ ТОПЛИВ В СИНГАЗ В ПЛАЗМО-ЖИДКОСТНЫХ СИСТЕМАХ С ПОПЕРЕЧНЫМ ГАЗОВЫМ РАЗРЯДОМ......Page 323 ФОРМИРОВАНИЕ ДИСПЕРСНОЙ ФАЗЫ В ОБЪЕМЕ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА ПОНИЖЕННОГО ДАВЛЕНИЯ......Page 327 НЕОБЫЧНЫЕ СВОЙСТВА ПОЛИМЕТАЛЛИЧЕСКИХ СУБМИКРОННЫХ ЧАСТИЦ И КОМПАКТНЫХ МАТЕРИАЛОВ, ИЗГОТОВЛЕННЫХ ИЗ ТАКИХ ЧАСТИЦ......Page 334 МЕТОДИКА И УСТАНОВКА ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЯ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЙ ПОЛИМЕРИЗАЦИИ В УСЛОВИЯХ ИСКУССТВЕННОЙ ГРАВИТАЦИИ......Page 338 ЭФФЕКТ ПАМЯТИ В ПЛЕНКАХ SIOX, ОСАЖДЕННЫХ В ПЛАЗМЕ НИЗКОЧАСТОТНОГО РАЗРЯДА......Page 341 СИНТЕЗ ПОЛИМЕРНЫХ ПЛЕНОК ИЗ ГЕКСАФТОРБЕНЗОЛА В РАЗРЯДЕ ПОСТОЯННОГО ТОКА......Page 345 ОСОБЕННОСТИ ЗАЩИТНЫХ СВОЙСТВ ТОНКИХ ОКСИДНЫХ ПЛЕНОК НА КВАРЦЕ ПРИ ВОЗДЕЙСТВИИ ПЛАЗМЫ ДУГОВОГО РАЗРЯДА НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ......Page 348 СИНТЕЗ НАНОРАЗМЕРНЫХ ЧАСТИЦ ОКСИДОВ ОЛОВА И ЖЕЛЕЗА В РЕАКТОРЕ НА БАЗЕ ПЛАЗМОТРОНА С ЖИДКОМЕТАЛЛИЧЕСКИМИ ЭЛЕКТРОДАМИ......Page 351 ОСАЖДЕНИЕ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ СЛОЕВ BaO - SiO2 - Al2O3 И УЛЬТРА- И МЕЛКОДИСПЕРСНЫХ ПОРОШКОВ КРЕМНИЯ В ПЛАЗМЕННОЙ ВЫСОКОЧАСТОТНОЙ ИНДУКЦИОННОЙ УСТАНОВКЕ......Page 355 ВЛИЯНИЕ ГАЗА-РАЗБАВИТЕЛЯ НА СКОРОСТЬ РОСТА ПЛЕНОК Si МЕТОДОМ ГАЗОСТРУЙНОГО ХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ С ЭЛЕКТРОННО-ПУЧКОВОЙ АКТИВАЦИЕЙ......Page 358 ПОВЕДЕНИЕ ХЛОРОРГАНИЧЕСКИХ ПРИМЕСЕЙ В ПРОЦЕССЕ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО СИНТЕЗА ТРИХЛОРСИЛАНА......Page 362